2011年,美、德、日、意几个大国的第四代自由电子激光装置已经基本完成建设。而华国才刚开始批复项目建设,至今还未有属于自己的第四代自由电子激光装置!
盛明安对第四代自由电子激光光源倒是挺熟悉,因他前世研发光刻机,自然涉猎过构成光刻机核心技术之一的光源。
就目前而言,光刻机主流光源是激光等离子(LPP),因为西方的高端科技封锁政策,国内的LPP光刻机在学术上与国外壁垒相差实在太大。
但就未来发展而言,激光器将会碍于功率问题而限制光源制程,同时限制光刻机光源的更进一步发展,而解决方案就是第四代自由电子激光光源。
2006年,英特尔就曾提过利用FEL技术进行光刻。
产生的高品质电子束与波荡器相互作用产生高亮度的X射线,可作用于物理、化学、材料学、医学、生命科学等无数领域,是人类文明观察微观世界不可或缺的尖端科技,也是激光物理和等离子物理的重要研究领域。
二十世纪初,X射线被发现。
二十世纪中叶,同步辐射被发现,弥补了X射线在亮度和偏振性的不足。
同时代,一种前所未有的高亮度、全相干的新型光源——激光诞生!
激光的应用极其广泛,无论是生活中譬如二维码扫描还是尖端精密机器譬如光刻机,都有它无处不在的身影。
话题扯远了,就用最简单的话语来说明所谓的同步辐射光源吧。
将同步辐射光源比喻成眼睛,人们可以用这双眼睛观察微观世界原子、分子,其科学领域应用范围非常广泛。
这双眼睛经过发展更新至第四代光源(XFEL),技术水平等于说从三代的‘拍照’瞬间提高到四代的‘拍摄电影’!
而今全世界各国都在试图攻破超短脉冲、全相干、极化控制等功能的高增益X射线FEL技术。
至于系统设置关卡的‘阿秒超短脉冲XFEL’……emmmm,连美国都还没有攻
几十年间,同步辐射光源装置历经三代发展,是产生高强度X射线的最佳选择。
但同步辐射不是激光,不具备相干性,而三代同步辐光源的亮度和相干性不能满足各领域科技更深的需求,因此而出现了第四代自由电子激光光源。
即与黑科技系统关卡的‘X射线自由电子激光光源’相关。
2009年,美国第一台基于直线加速器X射线自由电子激光调式成功,标志着激光光源进入一个全新的时代。
与此同时,华国申市光源的‘第三代同步辐射光源装置’刚开始竣工验收。